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2023-05-27 发布于四川
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兰姆波谐振器及其制造方法.pdf

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本发明的兰姆波谐振器包括：衬底；压电层，层叠在衬底上，压电层的第一主面与兰姆波的传播方向平行；以及叉指电极，具有多个设置在压电层的第一主面上的电极指，多个电极指在压电层的第一主面上延伸的方向与兰姆波的传播方向垂直，在压电层的第一主面上，在相邻的每2个电极指间开设有沿电极指的延伸方向排列的多个槽，隔着电极指相邻的槽相互对齐，槽沿兰姆波的传播方向上的尺寸即槽的宽度与将槽夹在中间的相邻的2个电极指之间的间距相同，槽沿电极指的延伸方向上的尺寸即槽的长度与兰姆波的波长之比r1在0.4至0.6的范围内，槽在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112332797 A (43)申请公布日 2021.02.05 (21)申请号 202011180019.0 (22)申请日 2020.10.29 (71)申请人广东广纳芯科技有限公司

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