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本发明提供了一种羽流等离子体中性粒子测量装置，该测量装置用于诊断电推力器真空羽流中的中性粒子，包括离子收集组件、电离室、轨道以及探针组件，离子收集组件、电离室、轨道以及探针组件顺次首尾相接，离子收集组件用于收集羽流中的粒子，同时用于将带电粒子和中性粒子分离，电离室用于将中性粒子电离形成带电粒子；轨道内部安装轨道电极，轨道电极可被施加电压，带电粒子在电场中沿轨道运动至轨道出口，探针组件用于检测带电粒子。本发明的测量装置采用模块化拼装的方式，组装步骤简单，克服了现有光学诊断方式和探针组件方式存在缺陷
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112327346 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 202011205050.5
(22)申请日 2020.11.02
(71)申请人 北京航空航天大学
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