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2023-05-27 发布于四川
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一种叠层AlN基板表面散热结构的加工设备及加工方法.pdf

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本发明公开了一种叠层AlN基板表面散热结构的加工设备及加工方法。该方法包括：将叠层AlN基板装夹在超声振动平台上；利用功率密度为第一设定值的激光对基板待加工区域进行金属化，同时通入惰性气体形成气氛保护；在超声振动平台的振动下，采用微细铣刀以第一切削深度去除金属化后的区域，同时通入切削液；重复以上两步，完成粗加工；采用功率密度为第二设定值的激光对加工面继续进行金属化处理，同时通入惰性气体形成气氛保护；在超声振动平台的振动下，采用微细铣刀以第二切削深度去除金属化后的区域；重复以上两步，完成精加工。本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112296408 B (45)授权公告日 2022.03.29 (21)申请号 202011136790.8 C22F 3/00 (2006.01) (22)申请日 2

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