一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置.pdfVIP

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2023-05-28 发布于四川
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一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置.pdf

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本发明公开了一种动态模拟半导体生产系统废气处理的方法及装置，方法包括如下步骤：采集目标半导体生产工艺，以及半导体生产系统中的设备布局信息；确定生产目标半导体的目标机台组、目标机台和生产物流路径；获取第一生产节拍和第二生产节拍，结合目标半导体的生产物流路径，给出目标机台及目标机台组所产生的废气数据；获取目标机台组的废气处理信息和第三生产节拍，结合时间控制指令，给出针对半导体生产系统废气处理的动态模拟。将生产设备和腔体进程、生产节拍等参数囊括，实现了半导体生产系统废气处理动态模拟，为设备选型、管路设

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115826548 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202310152028.6 (22)申请日 2023.02.22 (71)申请人中国电子工程设计院有限公司地址