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2023-05-28 发布于四川
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一种真空镀膜用冷却转盘机构.pdf

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本发明公开了一种真空镀膜用冷却转盘机构，该种真空镀膜用冷却转盘机构包括磁流体、主轴、冷冻转盘、导热压板、冷却管道、锁紧法兰、旋转接头、进水管道、出水管道、腔体底板和驱动组件，磁流体的旋转部插装有主轴，主轴顶部安装有冷冻转盘，冷冻转盘上端面设有盘状设置的冷却甬道，冷冻转盘上端封装有导热压板，主轴内装有与冷却甬道两端相通的冷却管道，主轴底部与旋转接头的旋转部固定连接，旋转接头的外部固定部安装有分别与冷却管道相通的进水管道和出水管道，所述磁流体的旋转部通过驱动组件驱动转动。通过上述方式，本发明结构简单

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112359339 A (43)申请公布日 2021.02.12 (21)申请号 202011433496.3 (22)申请日 2020.12.10 (71)申请人百腾科技（苏州）有限公司

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