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本发明涉及涂层材料的技术领域，具体涉及一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法，所述AlN/AlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构，由内到外依次包括结合层、支撑层、压电功能层和保护层，其中，结合层为纯金属AlSc层，支撑层为AlSc/AlScN纳米多层膜，压电功能层为AlN/AlScN纳米多层膜，保护层为AlON层。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性；充分利用梯度结构和纳米多层结构，形成结构和成分渐变，涂层和基体应力较低，具有好的附着力；提高了涂层的耐
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113584443 A
(43)申请公布日 2021.11.02
(21)申请号 202110733602.8 C23C 14/06 (2006.01)
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