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本发明提供一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法，包括：若干玻璃夹持架，若干所述玻璃夹持架包括两端设置的夹持盘，两侧所述夹持盘的瀑布流挡板槽内通过挡流板相连接；统一操动机构，若干所述活动轴均活动插设在同一根牵拉连杆上；减薄刻蚀箱，若干所述玻璃夹持架两端通过密封轴承活动安装在减薄刻蚀箱两侧；瀑布流喷淋板，所述瀑布流喷淋板底部阵列式安装有若干喷淋头，本发明通过若干玻璃夹持架的夹持，能够进行直立式浸泡刻蚀和瀑布流式刻蚀法，通过在待检测玻璃两侧安装挡流板，使得待刻蚀玻璃两侧与挡流板形成的缝隙处，克服了瀑布流法无
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112358194 B
(45)授权公告日 2022.06.17
(21)申请号 202011275352.X (51)Int.Cl.
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