微缩式模拟信息存储方法.pdfVIP

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一种微缩式模拟信息存储方法,包括步骤:S1)采用激光热模光刻技术进行信息记录,具体是:S1.1选择超薄透明基片,在上面沉积一层相变材料作为信息记录材料;S1.2根据激光能量、运动平台速率控制数据信息的笔画、纹理特性,实现信息在微观尺度(百纳米级)的原貌复制;S2)将步骤S1)光刻后的样品浸没至清晰剂中,使刻写区薄膜保留,非刻写区薄膜剥离,所述的刻写区的信息结构与非刻写区域的基底产生较高的光学对比度所述,所述的清晰剂为采用主要成分为强氧化剂的无机溶液,用于非刻写区域的信息材料的去除;步骤S3)将经

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112382316 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011268199.8 (22)申请日 2020.11.13 (71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究

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