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一种具有加热测温功能的湿度传感器及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种具有加热测温功能的湿度传感器及其制作方法.pdf

    本发明涉及一种具有加热测温功能的湿度传感器及其制作方法，具有加热测温功能的湿度传感器包括控制芯片、基底、湿度敏感电容、加热电路和测温电路，当湿度传感器的温度较低时即测温电路所采集的温度低时，通过控制芯片导通加热电路，使加热电路的加热电阻对湿度敏感电容进行加热，从而不会使湿度敏感电容的温度过低，以保证湿度探测的精度，也就是说，在外界环境如高空环境中的温度较低时，本申请的一种具有加热测温功能的湿度传感器能持续进行湿度探测，不易出现失效的情况，且湿度探测误差小，湿度探测精度高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112378963 A (43)申请公布日 2021.02.19 (21)申请号 202011217208.0 (22)申请日 2020.11.04 (71)申请人 北京航天微电科技有限公司

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