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- 2023-05-28 发布于四川
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本申请涉及一种CVD反应装置，属于化学气相沉积的技术领域，其包括架体和设置在所述架体上的若干热管，所述热管沿所述架体的长度方向设置，所述架体两端均设置为电极，所述热管两端均连通有进气管，且所述热管下侧开设有多个通孔，且所述热管下方设有用于沉积金刚石层的基体，且所述基体远离所述热管的一侧设有用于控制所述基体温度的控制机构和用于控制所述基体与所述热管之间距离的升降组件。本申请具有提高混合气体的解离率，进而提高沉积效率的效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116162916 A
(43)申请公布日 2023.05.26
(21)申请号 202211675964.7
(22)申请日 2022.12.26
(71)申请人 廊坊沃尔德超硬刀具有限公司
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