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一种氧化铟镓锌靶材的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种氧化铟镓锌靶材的制备方法.pdf

    本发明揭示了一种氧化铟镓锌靶材的制备方法，包括以下步骤：将氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末加入球磨罐中，再加入分散剂、粘接剂以及纯水混合，进行预分散后得到混合液，将所述混合液进行湿法研磨后得到混合浆料；将混合浆料进行喷雾造粒、混料筛分，得到氧化铟镓锌粉末；将氧化铟镓锌粉末进行液压成型、冷等静压，得到氧化铟镓锌靶坯；将氧化铟镓锌靶坯进行烧结，烧结的过程中，在氧化铟镓锌靶坯底部铺上一层衬底材料，烧结完成后得到氧化铟镓锌靶材。本发明烧结过程中在靶坯底部铺上一层衬底材料，让靶坯在衬底材料的挥发氛围中烧

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112341159 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011121750.6 (22)申请日 2020.10.20 (71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公司

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