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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明提供了一种用载具输送的MEMS器件AOI检测方法，所述方法通过AOI检测设备来实现；所述AOI检测设备包括机架、步进顶料模组、传送进出料模组、传送排料模组和三轴自动对焦模组，所述步进顶料模组用来将物料顶起到固定位置进行检测；所述传送进出料模组用于传送物料，并在检测物料之后，将物料传送到下一个工位；所述传送排料模组则用来存放NG物料以及OK物料，并将NG物料传送离开，NG物料为不合格物料，OK物料为合格物料；所述三轴自动对焦模组用于视觉检测，通过X轴移动模组、Y轴移动模组和Z轴移动模组带动视
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112371530 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011296200.8
(22)申请日 2020.11.18
(71)申请人 深圳市德斯戈智能科技有限公司
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