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一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的侧机械手，其设置在进料舱或出料舱中，将进料舱的挂板传送到输运舱或将输运舱的成品挂板传送到出料舱，其由动力组、直线模组和夹紧组件三部分组成；夹紧组件竖向设置，其为一三层结构，包括中间的移动安装板、底层的底固定板，以及最前面的滑动爪部分，移动安装板滑动安装在一横置的导轨上，该导轨又可横向滑动的安装在底固定板上，移动安装板设有推动块，该推动块位于横置导轨两侧的限位块之间，与它们形成相抵结构，且该推动块位于移动安装板远离输运舱的一侧；动力组与直线模组相连，直线模组与移
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112359341 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011257306.7
(22)申请日 2020.11.11
(71)申请人 广东汇成真空科技股份有限公司
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