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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明公开了一种TOPCon光伏电池的制造方法,包括以下步骤:A、对硅衬底进行制绒;B、对硅衬底正面进行硼扩散;C、去除BSG层;D、在硅衬底背面由内至外依次制备氧化硅层、掺杂微晶硅层和掺杂非晶硅层;E、去除正面非晶硅绕镀;F、在硅衬底的正面制备氧化铝层和氮化硅层,在硅衬底的背面制备氧化铝层和氮化硅层G、涂刷银浆,然后烧结形成电极。本发明可以解决现有技术的不足,提高了TOPCon光伏电池的转化效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116169186 A
(43)申请公布日 2023.05.26
(21)申请号 202310117376.X (51)Int.Cl .
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