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2023-05-28 发布于四川
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一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法.pdf

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本发明一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法，所述方法包括步骤1，在硅转接板的倒装焊区域涂抹助焊剂，或用若干个倒装焊芯片蘸取助焊剂，将芯片焊球分别与硅转接板焊盘对位后贴片；步骤2，将初步形成的组件真空回流焊接，之后清洗进行倒装焊芯片的底部填充及硅转接板背面的植球，重复得若干个多芯片/硅转接板组件；步骤3，在管壳的倒装焊区域涂抹助焊剂，选取靠近中心位置和高度最高的倒装焊芯片表面作为拾取点，分别将组件与管壳对位后贴片；步骤4，将形成的模块真空回流焊接，清洗再进行硅转接板的底部填充，能够显

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112366181 B (45)授权公告日 2022.04.12 (21)申请号 202011174060.7 H01L 21/50 (2006.01) (22)申请日

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