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激光设备.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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激光设备.pdf

    本公开涉及一种激光设备，包括：第一真空腔室，其中在第一真空腔室中的目标基底上执行加工；激光器，面对第一真空腔室；载体，设置在第一真空腔室中，其中目标基底坐置在载体上；腔室窗，设置在第一真空腔室的一个表面中，其中由激光器发射的激光束穿过腔室窗；第一保护窗，位于载体和腔室窗之间；第二真空腔室，设置在第一真空腔室的第一侧处；和传送单元，配置为将第一保护窗传送到第二真空腔室。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112404696 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202010778290.8 (22)申请日 2020.08.05 (30)优先权数据 10-2019-0

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