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一种全解耦二维纳米柔性运动平台.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种全解耦二维纳米柔性运动平台.pdf

    本发明公开了一种全解耦二维纳米柔性运动平台，所述全解耦二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；两个X向二级运动平台和两个Y向二级运动平台；两个X向三级运动平台和两个Y向三级运动平台；两个X向双平行四边形板簧导向件；两个Y向双平行四边形板簧导向件；四个X向双平行四边形板簧解耦件；四个Y向双平行四边形板簧解耦件；两个X向三折板簧导向件；两个Y向三折板簧导向件；四个X向三层双折板簧导向件；四个Y向三层双折板簧导向件；两个方形板簧冗余约束件。根据本发明实施例的全解耦二维纳米柔性运动平台具有完全解耦、精

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112349344 B (45)授权公告日 2021.07.06 (21)申请号 202011212701.3 (56)对比文件 (22)申请日 2020.11.03

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