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本发明公开了一种离子注入机大盘振动感知互锁系统，包括：振动传感器，该振动传感器设置在离子注入机上，用于获得离子注入机的振动信号；振动控制器，该振动控制器与振动传感器通讯地连接，以及互锁控制盒子，该互锁控制盒子与振动控制器以及离子注入机的旋转控制器连接，用于接收振动控制器发出的控制信号，并根据控制信号控制旋转控制器的工作状态。本发明提出的离子注入机大盘振动感知互锁系统可以实时监控离子注入机大盘的振动是否出现异常，并实现在异常情况下自动停机，以防止晶片掉落造成的危害的扩大。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112397368 A
(43)申请公布日
2021.02.23
(21)申请号 20191
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