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单面抛光装置及方法.pdfVIP

单面抛光装置及方法.pdf

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    本发明提供了一种单面抛光装置及方法，属于半导体技术领域。单面抛光装置，包括：固定部，用于对待抛光的晶圆进行固定；位于所述固定部上方的抛光头，用于对所述晶圆进行抛光；分布在所述晶圆周缘的多个控制销，用于固定所述晶圆的边缘；位于所述固定部下方的多个喷头，用于向所述晶圆远离所述抛光头的一侧表面喷洒液体；控制机构，用于根据所述抛光头的位置以及所述晶圆表面的形状控制所述液体的压力。本发明能够提高晶圆的表面平坦度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112405305 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011309902.5 B24B 1/00 (2006.01) (22)申请日 20

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