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提供激光加工装置,不会对已经加工过的晶片再次进行加工。激光加工装置的控制单元包含:基准图像存储部,其通过拍摄单元对形成改质层之前的分割预定线进行拍摄并存储为基准图像;计算部,其对存储在基准图像存储部中的基准图像和由拍摄单元拍摄的卡盘工作台所保持的晶片的图像进行比较而计算一致度;以及判断部,其在计算部计算出的一致度超过第一规定值的情况下,判断为卡盘工作台所保持的晶片是未形成改质层的未加工的晶片,在一致度为第二规定值以下的情况下,判断为卡盘工作台所保持的晶片是形成有改质层的已加工完成的晶片。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112388187 A
(43)申请公布日 2021.02.23
(21)申请号 202010755803.3
(22)申请日 2020.07.31
(30)优先权数据
2019-1428
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