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本发明公开了一种硅基光波导和石墨烯光电混频器集成芯片与制备方法，其结构包括垂直耦合光栅、硅基光波导器件、硅基光波导和石墨烯光电混频器；其中垂直耦合光栅为调制光信号输入口、光信号通过硅基光波导输入到硅基光波导器件进行处理，处理后输入到石墨烯光电混频器，石墨烯光电混频器对探测到的光信号进行光电转换，栅电极为微波本振信号输入口，微波本振信号与光电转换后的信号进行混频得到中频信号，中频信号由漏电极输出。本发明通过将石墨烯光电混频器与硅基光波导器件进行集成，可同时实现信号处理、探测和混频功能，且集成后混频
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112415653 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011141000.5
(22)申请日 2020.10.22
(71)申请人 中国电子科技集团公司第五十五研
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