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本发明公开了一种助熔剂倒提拉晶体生长的方法。制备含有助熔剂的多晶料棒;在光学浮区炉中,以高于正常生长速度约50%的速度,快速进行预生长;快速预生长即将结束时,即料棒头部仅剩约0.5cm时,在温度和转速不变的情况下,停止熔区移动约1分钟;将得到的预生长多晶料棒作为熔体部分,将剩余的料棒头作为籽晶,开始反向移动熔区,熔区移动的速率降为0.5mm/min,即采用光学浮区炉实现了TSSG顶部籽晶法生长的效果,本专利称之为助熔剂倒提拉法;在所述的两个完全相反的生长过程中,始终保持固液界面平缓连接,全程不中
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112410869 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011354513.4
(22)申请日 2020.11.27
(71)申请人 枣庄学院
地址 27
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