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本发明公开了一种具有复合梁结构的电容式六维力传感器，其包括传感器主体、绝缘垫片、感应动电极层、PCB板。传感器主体主要由受力台、外壁以及连接于外壁与受力台之间的变形梁组成，其中变形梁为复合梁结构，由横梁、竖梁以及纵梁三部分组成。绝缘垫片以及感应动电极层通过绝缘螺钉固定连接在传感器主体受力台上，PCB板固定在传感器外壁内侧的PCB安装台上，并与感应动电极层组成六个电容器。本发明采用复合梁作为变形梁，通过在普通等截面横梁的基础上增加竖梁和纵梁，减小变形梁整体的抗弯刚度，使电容式六维力传感器各方向抗弯
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112414607 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011357920.0
(22)申请日 2020.11.27
(71)申请人 广西大学
地址 53
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