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一种撬装结构的多晶硅生产工艺余热利用系统，它包括：多晶硅还原炉（1）、汽化过热器（2）、尾气换热器（3）、撬装钢架结构（4），其特征在于：多晶硅还原炉布置在撬装钢架结构外，在撬装钢架结构内，多晶硅还原炉的烟气出口管与尾气换热器管程进口连接，冷却水进口与尾气换热器的壳程进口连接，尾气换热器的壳程出口一端连接所述汽化过热器的壳程进口，另一端连接对外供水口，汽化过热器的壳程出口与汽化过热器排水口连接，三氯氢硅管道与氢气管道汇合成混合原料气管道，混合原料气管道与汽化过热器管程进口连接，汽化过热器管程出口
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115806294 A
(43)申请公布日 2023.03.17
(21)申请号 202211429758.8 F28F 27/00 (2006.01)
(22)申请日 2022.11.
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