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色散共焦自旋转内窥探测方法与装置.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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色散共焦自旋转内窥探测方法与装置.pdf

    本发明属于色散共焦位移测量技术领域，利用自旋转的光束折转技术，结合色散共焦位移测量技术，能快速实现孔类样品内表面形貌信息的检测。本发明首次提出用光束折转机构对色散物镜出射的测量光束折转一定角度聚焦在孔类样品内表面上，通过共焦光谱探测系统对孔类样品反射回的光束空间滤波并探测其光谱信息，通过处理探测的光谱信息获取孔类样品内表面在测量光束光轴方向的位移信息，通过旋转光束折转机构使得测量光束光轴绕色散物镜光轴旋转聚焦在孔类样品内表面不同位置，进而获得孔类样品内表面不同位置在测量光束光轴方向的位移信息。本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112444523 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202011513266.8 (22)申请日 2020.12.21 (71)申请人 绍兴钜光光电科技有限公司

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