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本发明公开了一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置，包括机架及单晶晶棒本体，所述机架顶部固接工作台，所述工作台顶面垂直位置固接夹持装置，所述工作台上放置料座，所述料座与夹持装置位置对应，所述工作台顶面两侧固接对中气缸，所述对中气缸动力端固接顶杆一端，所述顶杆另一端固接推板一侧，所述推板另一侧接触料座侧面；所述夹持装置包括底座，所述底座通过螺栓固接工作台顶面，所述底座顶面两侧分别固接两个滑杆，两个所述滑杆左侧滑动连接两个左滑块，两个所述左滑块固接左夹持臂，两个所述滑杆右侧滑动连接两个
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112454704 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 202011450569.X
(22)申请日 2020.12.11
(71)申请人 中环领先半导体材料有限公司
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