形成金属氧化物膜及其相关产品的水不敏感性方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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形成金属氧化物膜及其相关产品的水不敏感性方法.pdf

用于形成本文所公开的金属氧化物膜的水不敏感性方法可被用于形成涂覆的基底。该方法可与潮湿基底一起使用。可将湿气敏感性膜沉积在金属氧化物膜上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112469845 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980046868.6 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限

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