原创力文档- 2
- 0
- 约3.98万字
- 约 41页
- 2023-05-30 发布于四川
- 举报
本公开的方面包括用于从载体材料移除样品并且将样品沉降到基板上的系统和方法。样品可以被放置在处于腔体内的台上的基板引导器的孔中。蚀刻流体可以被引入腔体中以从样品蚀刻载体材料，且然后被排出。冲洗材料可以被引入腔体中以冲洗蚀刻流体，且然后被排出。可以执行样品沉降过程，其中冲洗流体被引入腔体中，以将样品引导器和样品升高到基板保持器上的基板的水平之上。基板保持器可以相对于样品引导器进行定位，使得孔内的样品与基板保持器上的基板对准。冲洗流体被排出，以使得样品降低到基板上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112469665 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 201980048879.8 (74)专利代理机构 成都超凡明远知识产权代理
文档评论（0）