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- 2023-05-30 发布于四川
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本公开提供了一种石墨基座和MOCVD设备，属于半导体技术领域。石墨基座的一个圆形端面上设有多个圆形槽和至少一个条形槽；多个圆形槽的中心分布在至少两个圆形上，至少一个条形槽分布在至少一个圆环内，每个圆环位于至少两个圆形槽之间，至少两个圆形槽包括至少一个第一圆形槽和至少一个第二圆形槽，至少一个第一圆形槽的中心分布在相邻的两个圆形中靠近石墨基座的中心的圆形上，至少一个第二圆形槽的中心分布在相邻的两个圆形中远离石墨基座的中心的圆形上；第一圆形槽的远心点和第一圆形槽相邻的第二圆形槽之间的最短连线与至少一个
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112458531 B
(45)授权公告日 2021.12.03
(21)申请号 202011065403.6 C30B 25/14 (2006.01)
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