键合方法和键合结构.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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本申请提供一种键合方法和键合结构,该键合方法包括:在第二基片的表面形成由导电材料形成的导电连接柱;在第一基片的表面形成由键合胶形成的键合胶图形,所述键合胶图形具有凹陷部,所述第一基片的部分表面从所述凹陷部露出,所述凹陷部的位置与所述导电连接柱对应,所述凹陷部的横向尺寸大于所述导电连接柱的横向尺寸,所述键合胶图形的厚度大于所述导电连接柱的厚度;以及将所述导电连接柱与所述凹陷部对准,在预定的温度条件下,对所述第一基片和所述第二基片施加预定的压力,使所述第一基片与所述第二基片通过所述键合胶图形键合为一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112456436 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 20191

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