1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

四重图形的制作方法.pdfVIP

  • 15
  • 0
  • 约1.32万字
  • 约 15页
  • 2023-05-30 发布于四川
  • 举报

四重图形的制作方法.pdf

    本发明提供一种四重图形的制作方法，其主要采用正性光刻胶的负性显影方法，通过进行若干次的正胶曝光‑负性显影以及表成像技术，在基底上制作出四重图形，然后通过刻蚀将四重图形转移至硬掩膜中。本发明的制作方法具有低成本、高工艺效率的优点。另外，本发明通过正性光刻胶的曝光及负显影方法制作图形，可有效提高的图形精度，为图形特征尺寸的微缩提供有效的保证。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112462580 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 20191

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >