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掩膜板贴合状态检测设备及压合机.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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掩膜板贴合状态检测设备及压合机.pdf

    本发明涉及压合机技术领域,公开了一种掩膜板贴合状态检测设备及压合机,该掩膜板贴合状态检测设备包括底座、支撑板、照明装置、第一驱动机构、光学检测装置和第二驱动机构。通过第一驱动机构驱动照明装置在第一方向以及第二方向上移动，从而令光线照射在掩膜板上的不同开口处以模拟蒸镀的方式对掩膜板的贴合度进行检测；并通过第二驱动装置驱动光学检测装置在第三方向、第四方向以及第五方向上移动，以令光学检测装置能够贴近掩膜板上的各个开口处，以便对检测出掩膜板上的开口处与玻璃之间是否透过光线。若无光线透过，则说明掩膜板与玻

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112461796 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 20191

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