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用于3D-NAND的CDSEM计量的方法、系统和计算机程序产品.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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用于3D-NAND的CDSEM计量的方法、系统和计算机程序产品.pdf

    一种用于通过一系列制造步骤制造的半导体结构的工艺控制的方法，所述方法包括获得指示至少两个单独制造步骤的半导体结构的图像；其中通过用带电粒子束扫描半导体结构并且收集从半导体结构发出的信号来生成所述图像；以及通过硬件处理器处理图像以确定半导体结构的参数，其中处理包括测量来自制造步骤当中作为单独特征的(多个)台阶。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112469962 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 201980049495.8 S ·杜夫德瓦尼-巴　V ·维利沙金　 (22)申请日

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