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本发明公开了一种半导体开路测试机,本发明通过设置两个多路复用器,一个多路复用器的复用端连接参数测量单元通道的Force信号,另一个多路复用器的复用端连接参数测量单元通道的Sense信号,两个多路复用器的多路端按照顺序一一连接后共同连接至对应的测试通道,两个多路复用器可以独立控制,亦可实现配对使用。当独立控制时,两个多路复用器可以各自选通不同的测试通道,当配对使用时,两个多路复用器会同时选通同一个测试通道,相当于被选通的测试通道就近短接Force和Sense,可以实现远端SENSE,可以抵消线缆及
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115808609 A
(43)申请公布日 2023.03.17
(21)申请号 202211427293.2
(22)申请日 2022.11.15
(71)申请人 胜达克半导体科技(上海)有限公司
地
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