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包括低温保持器和超导线圈层的组件以及设置有这种组件的电机系统.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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包括低温保持器和超导线圈层的组件以及设置有这种组件的电机系统.pdf

    本发明提供了一种组件，包括低温保持器(6，7，8，9)和用于与光刻设备的磁悬浮和/或加速电机系统(1)一起使用的超导线圈(2)的扁平线圈层(3)。低温保持器包括两个绝热覆盖物(8，9)。线圈层布置在两个覆盖物之间。每个覆盖物包括被配置为被低温冷却的内板(10)和平行于内板的外板(11)、以及具有在内板与外板之间的真空层(13)的绝热系统。上述覆盖物的绝热系统包括圆形体(101)的层，这些圆形体的中心轴线垂直于内板和外板延伸，并且上述覆盖物的绝热系统被配置为在两层圆形体之间或在一层圆形体与内板和/

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112470078 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980047964.2 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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