原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明MEMS探针激光刻蚀装置用光学准焦结构属于半导体加工测试技术领域；所述光学准焦结构在MEMS探针激光刻蚀装置中，将螺旋通槽板用上一字通槽板代替，将直线通槽板用下一字通槽板代替，将单晶硅圆片用相同厚度的平面反射镜代替，所述上一字通槽板上表面与下一字通槽板下表面紧贴；在下一字通槽板和物镜之间，设置有棱镜，在棱镜的侧边缘，设置有图像传感器，沿光轴方向，弧形光源的最高点到棱镜的距离与图像传感器像面到棱镜的距离相同；本发明MEMS探针激光刻蚀装置用光学准焦结构，用在本发明所公开的MEMS探针激光刻蚀
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112453688 B
(45)授权公告日 2022.03.29
(21)申请号 202011378529.9 B23K 26/70 (2014.01)
(22)申请日
文档评论（0）