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本发明一种SE电池的碱抛制备工艺,依次包括清洗制绒‑扩散‑激光重掺杂‑高温快速氧化‑碱抛‑氧化‑镀膜‑金属化‑测试分选步骤。本工艺结合碱抛SE背钝化电池技术,解决了酸抛排放和成本问题,而且本工艺在激光重掺杂后,使用高温通氧化性气体的方式进行硅片激光加工区域氧化保护,使激光加工区域形成致密的氧化层,在碱抛过程中对硅片形成有效保护,实现发挥碱抛优势的同时,有效保护激光重掺杂区域,保持正面SE带来的效率提升,综合提升电池效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112466991 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 202011280989.8
(22)申请日 2020.11.16
(71)申请人 江苏润阳悦达光伏科技有限公司
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