阀装置、流体控制装置、流体控制方法、半导体制造装置以及半导体制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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阀装置、流体控制装置、流体控制方法、半导体制造装置以及半导体制造方法.pdf

本发明提供一种能够改善密封性能、小型化并且更加稳定地控制较大的流量的阀装置。所述阀装置具有:阀体(2);筒状构件(3),其设于收纳凹部(23)内且与第1流路(21)连通;阀座(48),其由筒状构件(3)支承;密封构件(49),其介于收纳凹部(23)的底面的第1流路(21)的开口周围与筒状构件(3)的下端部之间;环状板(11),其气密或液密地固定于在阀体(2)的收纳凹部(23)的内周面形成的环状的支承部(24)且气密或液密地固定于在筒状构件(3)的外周面形成的环状的支承部(37),具有与第2流路(

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112469934 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980049272.1 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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