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- 2023-05-30 发布于四川
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本发明在一个方式中提供一种树脂掩膜去除性优异的清洗方法。本发明在一个方式中涉及一种清洗方法，其包括使用清洗剂组合物将树脂掩膜从附着有树脂掩膜的被清洗物剥离的工序，上述清洗剂组合物含有碱剂(成分A)、有机溶剂(成分B)及水(成分C)，成分B的汉森溶解度参数的坐标为以δd＝18.3、δp＝6.8、δh＝3.7为中心的半径5.45MPa0.5的球的范围内，上述清洗剂组合物的导电率为11S/m以上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112470079 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 201980049478.4 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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