一种基于MEMS结构的湿度传感器.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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一种基于MEMS结构的湿度传感器.pdf

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本发明公开了基于MEMS结构的湿度传感器，包括终端式微波功率传感器和MEMS悬臂梁；终端式微波功率传感器包括共面波导信号线、共面波导地线、两个并联的匹配电阻和热电堆；MEMS悬臂梁包括三个等距离分布的弹性系数不同的MEMS悬臂梁，每个MEMS悬臂梁均由一层湿度敏感材料和一层金属材料组成，其中湿度敏感材料在金属材料下方；终端式微波功率传感器放置在基板上方，在共面波导信号线和共面波导地线的终端放置两个并联的匹配电阻，匹配电阻附近放置热电堆，等距离分布的三个MEMS悬臂梁锚区设置在共面波导地线上，自由

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112461887 B (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202110093059.X (56)对比文件 (22)申请日 2021.01.25