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正交入射椭圆仪以及使用其测量样本的光学性质的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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正交入射椭圆仪以及使用其测量样本的光学性质的方法.pdf

    本发明涉及正交入射椭圆仪以及通过使用该正交入射椭圆仪来测量样本的光学性质的方法。本发明的目的是提供：正交入射椭圆仪，其中，使用波长不相关线性偏振器代替波长相关补偿器，使得简化了设备校准过程，同时可以容易地实现测量波长范围的扩展；以及通过使用该正交入射椭圆仪来测量样本的光学性质的方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112469987 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980046133.3 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限

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