1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种全自动旋涂装置.pdfVIP

  • 9
  • 0
  • 约1.12万字
  • 约 11页
  • 2023-05-30 发布于四川
  • 举报

一种全自动旋涂装置.pdf

    本发明公开一种全自动旋涂装置，包括物料台、机械臂、旋涂仪、加热器、滴胶设备和控制器，控制器分别电连接机械臂、旋涂仪、加热器和滴胶设备；控制器用于控制机械臂将物料台内基片送入旋涂仪，以使旋涂仪将基片固定；控制器还用于控制机械臂驱动滴胶设备移动至旋涂仪上方位置，以使滴胶设备向旋涂仪内基片滴胶；控制器还用于控制旋涂仪驱动滴胶后的基片旋转，以使机械臂将旋转后的基片送入加热器；控制器还用于控制加热器对旋转后的基片加热，以使机械臂将加热后的基片送入物料台。本发明提出技术方案中以使整个旋涂法的实验过程完全实现

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115805167 A (43)申请公布日 2023.03.17 (21)申请号 202211674339.0 B05C 11/10 (2006.01) (22)申请日 2022.12.

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >