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本发明公开了一种多复合层图形化蓝宝石衬底的制备方法,包括以下步骤:S1在AL2O3上制造ALN薄膜;S2生成SiO2层;S3复合晶圆表面光阻剂生成;S4复合晶圆表面光阻剂处理;S5干法刻蚀;S6外延层制作;S7电极制备;本发明中,多层复合结构的图形化蓝宝石衬底制备过程循序渐进,能逐步得到合适尺寸的图形结构,排布好各层的位置,其制备容易上手,且更加精确,误操作可能低,得到的结构更加稳定;本发明给出了更为新颖的结构设计、更加精细的操作要求和反应条件,相较于现有技术,多复合层结构的图形化蓝宝石衬底的适
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112467005 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 202011294390.X
(22)申请日 2020.11.18
(71)申请人 福建
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