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本发明涉及一种利用溶液法在石墨件表面沉积碳化硅涂层的方法，将石墨件进行超声清洗和氧等离子体表面处理；在坩埚内装入Si和Cr，Cr作为金属助溶液，将石墨件与提拉杆固定，并放置于真空腔室内，炉腔内充入高纯氩气气体并开启加热系统，进行加热，达到预定温度使金属助溶液融化；将石墨件下降至液面以下，石墨件按照15‑30r/s的转速与40‑120μm/h的提拉速度进行运动，坩埚按相反方向转动；在此过程中实现石墨件的涂层沉积；沉积结束后，将石墨件拉离液面，缓慢降温后即生长过程结束。该方法获得的涂层具有更高致密度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114292129 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111515685.X
(22)申请日 2021.12.13
(71)申请人 天津理工大学
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