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- 2023-05-30 发布于四川
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提供对人体的危险性少，此外，即使在以高输出实施长时间的溅射的情况下也能够抑制开裂产生的溅射靶。一种溅射靶，其包含Zn、Sn、Zr和O，Zn的含量相对于金属成分整体为30～60mol％，Zr的含量相对于金属成分整体为10～40mol％，且包含Zr的复合氧化物。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112469843 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 201980048941.3 (74)专利代理机构 北京挚诚信奉知识产权代理
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