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- 2023-05-31 发布于四川
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一种将MEMS管芯附接到表面的方法,包括:将预成型焊料居中并旋转对准在本体的焊接表面上,将MEMS管芯居中并旋转对准在预成型焊料上,以及在回流工艺中加热预成型焊料直到焊料熔融,且熔融的焊料的表面张力将MEMS管芯移动到表面张力平衡的位置,且MEMS管芯居中在本体的焊接表面上,并且与本体的焊接表面旋转对准。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108059124 A
(43)申请公布日
2018.05.22
(21)申请号 20171
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