涂布装置及涂布方法.pdfVIP

涂布装置及涂布方法.pdf

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一种涂布装置，具备：处理室；喷嘴，在该处理室内沿涂布对象面相对移动并向该涂布对象面涂布结晶材料的溶液；内压调整部，调整处理室的内压；及控制部。并且，控制部在通过喷嘴进行溶液的涂布的情况下，利用内压调整部调整处理室的内压，从而使涂布于涂布对象面的溶液依次干燥而使结晶材料结晶生长。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112514038 A (43)申请公布日 2021.03.16 (21)申请号 201980051182.6 (74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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