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本发明揭示了一种十字缝隙交叉波导结构,该十字缝隙交叉波导结构包括输入/输出区、过渡区与交叉区:输入/输出区用于信号的输入与输出,由普通的十字缝隙直波导构成;过渡区用于连接正交的直波导,由十字缝隙弯曲波导构成,十字缝隙弯曲波导的垂直缝隙内填充了高折射率二氧化硅;交叉区用于实现两条十字缝隙交叉波导结构的交叉,其由两条平行的高折射率二氧化硅波导构成。该交叉波导结构交叉损耗与串扰小,并且采用的是宽度渐变的高折射率二氧化硅波导结构,不涉及谐振结构,工作带宽大、制备工艺的容差也大。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 106371173 A
(43)申请公布日
2017.02.01
(21)申请号 20161
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