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- 2023-05-31 发布于四川
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本发明涉及一种耐腐蚀涂层的制备方法,该耐腐蚀涂层主要应用于半导体领域。该方法主要包括以下步骤:(1)将零件需要喷涂的地方进行前处理;(2)将喷涂颗粒溶于液体当中,制备成悬浮液;(3)利用大气等离子喷涂技术喷涂所制备的悬浮液,在零件表面形成一层具有耐腐蚀性的涂层。采用该方法制备的耐腐蚀涂层,首先保留了细小颗粒的优异性能,其次,使得所获得的涂层的孔隙率较低,涂层结合力好,具有较高的耐腐蚀作用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112501539 A
(43)申请公布日 2021.03.16
(21)申请号 202011160126.7
(22)申请日 2020.10.27
(71)申请人 沈阳富创精密设备股份有限公司
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