一种声波器件及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-31 发布于四川
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一种声波器件及其制作方法.pdf

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本申请公开了一种声波器件及其制作方法，该声波器件包括至少两个区域，该至少两个区域中至少存在一个区域设置有第一谐振器，与第一谐振器所在的区域相邻的至少一个区域设置有第二谐振器，该第一谐振器包括第一压电结构，该第二谐振器包括反射结构和第二压电结构，该反射结构位于第一压电结构与第二压电结构之间，且第一压电结构的层叠方向与第二压电结构的层叠方向相互垂直。本申请提供的技术方案通过采用包含反射结构和压电结构的薄膜体声波谐振器，防止与其相邻的薄膜体声波谐振器存在横向声能量泄露的问题，提高了声波器件的品质因数，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115800949 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202211501499.5 (22)申请日 2022.11.28 (71)申请人苏州汉天下电子有限